不怕英特爾彎道超車？ 台積電張曉強回應採用High-NA EUV時機
由於獨家供應EUV曝光機的荷蘭半導體設備商艾司摩爾（ASML）今年初已經交付首台High-NA EUV機台，英特爾也在今年4月宣布已經完成裝機，主持人提問，這對台積電會造成什麼影響？張曉強回覆，台積電研發團隊會持續專注在新一代EUV應用，台積電將選擇最合適的製程節點來使用，因為這要考量到很多因素，包括製造成本。張曉強也聲稱，台積電最先進的A16技術將於台灣生產，預計在2026年下半年投產。
張曉強曾表示，A16製造流程比預期快了許多，他認為不需要High-NA EUV 機台也能打造A16製程的晶片。張曉強解釋，他非常喜歡High-NA EUV 機台的性能，但是售價實在是太貴了。張曉強當時認為，台積電可以在更先進的製程再採用High-NA EUV 機台，這使得台積電可以大幅降低生產成本，讓產品保持更好的競爭力。
台積電也在技術論壇說明，A16結合超級電軌（Super Power Rail）架構與奈米片電晶體，預計於2026年量產。超級電軌技術將供電網路移到晶圓背面而在晶圓正面釋出更多訊號網路的佈局空間， 藉以提升邏輯密度和效能， 讓A16適用於具有複雜訊號佈線及密集供電網路的高效能運算（HPC）產品。
也曾有報導揭露，High-NA EUV機台價格昂貴，造價最高來到3.5億歐元（逼近120億元新台幣），比現在的EUV機台1.5億至2億美元高了將近1倍，根據ASML在近期的財報會議揭露，第二季已經出貨第二台High-NA EUV機台，目前正在組裝，市場研判為台積電，至於第一台仍在進行晶圓測試。
根據《Digitimes》報導，按照台積電安排時程，High-NA EUV機台不會用在A16之後、而是將於2027年量產的A14，但並非首代，而是改良版的A14P，預計2028年推出。
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