ASM推出全新PE2O8碳化矽磊晶系統 助力高功率元件市場發展
碳化矽技術廣泛應用於電動車、綠能及先進資料中心，隨著全球電氣化趨勢加速，功率元件製造商需應對日益增長的碳化矽需求，並致力於降低成本。這一需求推動了碳化矽基板從6吋過渡到8吋，同時製造商也在研發更高功率的元件，這些元件有望從優質的碳化矽磊晶技術中受益。
ASM指出，PE2O8系統採用獨特的雙腔體設計，實現極度精確的碳化矽沉積，達到高產量與生產率。雙腔體設計不僅提高效率，還降低整體營運成本。此外，該系統具備簡便的定期維護方案，幫助延長設備正常運行時間，減少停機風險。目前，PE2O8已成功交付給多家全球領先的碳化矽功率元件製造商。
ASM企業副總裁兼PEALD及Epi事業部門總經理Steven Reiter表示，「我們的客戶正在從6吋晶圓過渡至8吋晶圓，這對於碳化矽功率產品來說是關鍵時刻。在更大尺寸晶圓上提供高品質磊晶製程，並有效控制缺陷率至關重要。我們的創新腔體設計長期以來一直是業界穩定性的標竿，如今進一步提升系統能力，為客戶創造更高價值。」
自2022年以來，ASM持續透過碳化矽磊晶產品部門，開發並改進其單晶圓碳化矽磊晶系統。隨著電動車市場需求結構性增加，碳化矽晶圓和元件的產量同步提升，碳化矽磊晶設備市場也呈現顯著增長。
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